株式会社リード(READ)はハイテク産業分野に新たな可能性と付加価値をもたらしています。

CMPコンディショナーREV

主な特長

超砥粒砥石の性能維持・向上に最も効果的

セラミックス系の場合、ダイヤモンドとの結合が非常に強い

構成元素の保持性

セラミックス系の場合、構成元素として遷移金属元素が含まれていないため、これらの元素の溶出を危惧する必要がない

	READ	Conventional dressers
Bonding materials	Ceramics	Transition metals （plated）	Transition metals （brazed）
Hardness（Hv）	1200	600	200
Retention of diamond	◎	△	○
Metal contamination	ND level	Ni	Ni、Cr

	SS-W2000	READ	Brazed A.	Brazed B.	Brazed C.
Cr	162	152	531	1,300	195
Fe	51,755	52,796	53,696	55,000	67,060
Ni	<40	<40	9,265	3,900	291
Cu	<40	<40	<40	<40	<40
Ag	<20	<20	<20	<20	<20

CMPコンディショナの設計

加工例

ウレタンパッド加工例　ダイヤモンドコンディショナの加工寿命

同じ条件下でパッドコンディショニングを実施しても、CMPコンディショナによってパッドのカットレートの変化は異なる

パッド表面状態