製品案内

超精密研削・研磨Tool

CMPコンディショナーREV

主な特長

超砥粒砥石の性能維持・向上に最も効果的

セラミックス系の場合、ダイヤモンドとの結合が非常に強い

構成元素の保持性

セラミックス系の場合、構成元素として遷移金属元素が含まれていないため、これらの元素の溶出を危惧する必要がない

  READ Conventional dressers
Bonding materials Ceramics Transition metals
(plated)
Transition metals
(brazed)
Hardness(Hv) 1200 600 200
Retention of diamond
Metal contamination ND level Ni Ni、Cr
  SS-W2000 READ      Brazed A.   Brazed B.  Brazed C. 
Cr 162 152 531 1,300 195
Fe 51,755 52,796 53,696 55,000 67,060
Ni <40 <40 9,265 3,900 291
Cu <40 <40 <40 <40 <40
Ag <20 <20 <20 <20 <20

CMPコンディショナの設計

加工例

ウレタンパッド加工例 ダイヤモンドコンディショナの加工寿命

同じ条件下でパッドコンディショニングを実施しても、CMPコンディショナによってパッドのカットレートの変化は異なる

パッド表面状態

  • Concept
  • 採用情報

    Let’s show your ability

  • CSR

    社会とともに、社会から信頼される企業であり続けるために

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