ポーラス体吸着プレートRPC
主な特長
耐衝撃性
優れた高硬度、高剛性及び耐衝撃性
シートの歪み軽減を実現
微細気功吸引により、貫通穴型プレートで発生し易い、シートの歪みを軽減
特徴 |
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セラミックス系
- 耐酸性に優れる
- 耐溶剤性に優れる
- 耐摩耗性に優れる
- 軽量
- 熱膨張係数が少ない
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金属系
- 耐熱性に優れる
- 耐腐食性に優れる
- 導電性(静電効果○)
- 微細な吸着孔で歪み少ない
(柔らかく、薄ワークに適)
- 高硬度耐衝撃性に優れる
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用途例
1.真空吸着板 |
2.吹き出しノズル |
3.その他 |
- 真空チャック
(ダイシング装置、検査装置、半導体装置)
- 基盤
(積層基盤、グリーンシート、スクリーン印刷等)
- 真空ピンセット
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吸着プレートの種類