超精密研削・研磨Tool
HAL-BGホイール
主な特長
超鏡面研削加工が可能
サブミクロンの微細砥粒による超鏡面研削加工が可能
低研削抵抗を達成
既存砥石に比べて低い研削抵抗を達成
優れたボンド特性
トライボロジー特性に優れたボンド特性
ご紹介
HAL-BGホイールは既存砥石に比べ低い研削抵抗を実現しました。ボンド特性にも優れ、サブミクロンの微細砥粒により超鏡面研削加工が可能です。
加工例
シリコンウェハBGの超鏡面研削
既存の2軸研削面（レジン＃2,000）に比べ大幅な鏡面化を達成
シリコンウェハBGの超鏡面研削
サファイアの研削加工
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